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物理学院、中原之光实验室电子束蒸发镀膜仪采购项目等1项-采购意向

物理学院、中原之光实验室电子束蒸发镀膜仪采购项目等1项-采购意向

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信息时间:
2025-06-11
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为便于供应商及时了解政府采购信息, 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 ******学院、中原之光实验室电子束蒸发镀膜仪采购项目等1项政府采购意向公开如下:

序号 意向编号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额(万元) 预计采购日期 备注
1 CGYX******3 ******学院、中原之光实验室电子束蒸发镀膜仪采购项目 真空腔室: 500x500x500mm (SUS304)。前后门(6061铝)带φ80mm观察窗:前门自动平移,后门手动(6把手)。抽气口DN200(带过滤),接口:底部电子枪,顶部ISO250。烘烤:≤150℃。带DN30窗及LED。漏率<1 .0×10?1?pa·m3/s。 抽气与真空: 分子泵(1200l/s) + 机泵(6l/s)。极限真空<6.7e-5pa (40分钟恢复至6.7e-4pa)。阀门:kf40气动角阀(预抽/前级),dn250插板阀(主)。复合真空计(大气~1e-5pa)。 电子枪(sebg-203a): 加速电压-4kv~-10kv (6kw/1.5a)。270°偏转。扫描范围±20mm (x50hz/y500hz)。操作真空<7×10?2pa。水冷5~8l/min。配6*4cc坩埚及手操器。 样品台: 6英寸兼容。旋转(0-20rpm),升降(步进/10cm)。水冷(不控温)。电动挡板。 膜厚仪: inficon sqc-310 (基板侧晶体/快换ubqd)。速率分辨率<0.01?/s。 水冷保护: 总进出水接10~25℃制冷机。出水水流传感器异常报警。 控制: 15寸触摸屏+plc。控:泵阀启停/状态、互锁(抽/放)、实时温度(设置/显示曲线)、挡板位置。声光报警(水压/气压/门位/分子泵/膜厚探头)。急停:关主阀/分子泵/电源。 功能: 自动抽真空/停机,工艺手动。 55 2025年07月

******办公室

2025年06月11日

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